
Caratteristiche target sputtering molibdeno
Forma bersaglio di sputtering molibdeno: personalizzazione del profilo target rotante target piano
Molibdeno sputtering bersaglio purezza: 3n5
Dimensione del bersaglio di sputtering molibdeno: secondo l'elaborazione del disegno o altri personalizzati
Possiamo anche fornire filo di molibdeno, foglio di molibdeno, asta di molibdeno, particella di molibdeno, blocco di molibdeno, polvere di molibdeno e così via
Tecnologia di preparazione del bersaglio di molibdeno sputtering
1. La purezza della polvere di molibdeno è maggiore o uguale a 99 . 95%. La polvere di molibdeno è densificata dal processo di sinterizzazione a caldo . la polvere di molibdeno è posizionata in uno stampo e lo stampo è messo in un fornaggio a caldo {. La fornace è evacuata . La temperatura del forno di sinterizzazione che prevede a caldo viene regolata in grado 1200 - 1500, con una pressione superiore a 20 MPa, e viene mantenuta a questa temperatura e pressione per 2 - 5 ore per formare il primo bianco molibdeno.
2. Il primo blank target di molibdeno è sottoposto a trattamento a caldo . è riscaldato in grado 1200 - 1500 e quindi arrotolato per formare il secondo target molibdeno .}
3. Dopo il rotazione a caldo, il secondo bianco molibdeno Blank è ricotto . Il processo di ricottura comporta la regolazione della temperatura in gradi 800 - 1200 e tenendo il secondo target di molibdeno a questa temperatura per 2 - 5 ore per formare il bersaglio molibdeno .}..
Parametro delle prestazioni
Purity: la purezza dei materiali target di molibdeno è un indicatore chiave della loro performance . In generale, la purezza dei materiali bersaglio di molibdeno ad alta purezza può raggiungere 99 . 95% o addirittura superiore . L'alta purezza garantisce che la minimizzazione delle impurità durante il processo di deposizione del film, quindi improvvisa la qualità del prodotto finale.
Densità: una densità vicina alla densità teorica del molibdeno (10 . 22 g/cm³) è un segno di molibdeno di alta qualità materiali bersaglio . La densità più alta indica meno voti nel materiale e una struttura compatta, che è cruciale per l'estensione della vita di servizio e
Conducibilità termica: la conduttività termica del molibdeno è di circa 138 W/M · K . L'alta conduttività termica è importante per il controllo della temperatura del materiale target durante i processi di deposizione ad alta velocità, contribuendo a prevenire il surriscaldamento e il danno strutturale .}
Coefficiente di espansione termica: il coefficiente di espansione termica del molibdeno è relativamente basso, circa 4 . 8 × 10^-6 / gradi . Questo caratteristico significa che i materiali target di molibdeno hanno una buona stabilità dimensionale sotto i cambiamenti di temperatura, che aiutano a mantenere la costante e accuratezza del film.
Durezza e forza: la durezza Vickers del molibdeno è di circa 2500 HV e ha un'elevata resistenza meccanica . Questo consente ai materiali bersaglio molibdeno di resistere agli shock meccanici durante i processi di deposizione ad alta velocità .
Piattenezza e rugosità di superficie: la piattaforma di superficie e la rugosità sono anche parametri importanti per valutare la qualità dei materiali target molibdeno . Un buon trattamento superficiale può ridurre la generazione di particelle durante l'uso del materiale target, migliorando l'uniformità e la qualità del film depositato .}}}}
Il nostro vantaggio
Impegnato a diventare un pioniere nell'elaborazione e nella personalizzazione dei materiali di ricerca scientifica
Categoria completa
Oltre agli obiettivi di molibdeno, possiamo anche fornire in lega di titanio di molibdeno, lega di ranium di molibdeno, lega molibdeno niobio, lega di rame molibdeno, lega di molibdeno lantanum, lega di molibdeno tantalum e altri bersagli sputtering.
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